技术规格
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行程为102毫米×102毫米(4")
大孔径，150毫米×150毫米
单向重复精度达0.05微米
速度达90毫米/秒
两相步进电机，直流-电机
增量线性编码器分辨率为1纳米
增量编码器用于高精度位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。
光学参考点和限位开关。
再循环滚珠轴承
再循环滚珠轴承经过认真组装后，具有高负载能力、长使用寿命、使用免保养和高导向精度等多种特点。平台的移动
部件由在两个导轨上移动的四个预加载线性球形轴承支持。每个轴承单元由两个独立的循环滚珠轴承组成。
驱动器类型
两相步进电机可实现高转矩（即使低速时）和高分辨率
直流电机可实现高速度稳定性、低振动和高速
应用领域
医药行业, 激光切割, 生物技术, 计量, 显微镜